images

YRi-V

超高速 3D 检测

主要功能

  • 更高的3D检查速度 56.8cm2/sec
  • 8方向投影装置提供更高精度的3D检查
  • 2000万像素的4方向倾斜相机
  • 高水准分辨率5μ/同轴照明
  • 支持半导体领域的检查
  • 有效利用AI的新软件解决方案

规格


相机像素

1200万

设备型号

YRi-V

水平解析度

12μ

检测速度

10.1cm²/s

19.6cm²/s

56.8cm²/s

基板尺寸

L610 × W610(上限)- L50 × W50(下限)(单轨机型时)

※支持L750mm长基板(选配)

照明光源

可见光(红/绿/蓝),红外线

工作气源

0.5 MPa 以上,干燥,清洁

外型尺寸

L1,252 × W1,497 × H1,614mm

设备重量

约1,480kg

其他产品

联系
我们