YRi-V
超高速 3D 检测
主要功能
- 更高的3D检查速度 56.8cm2/sec
- 8方向投影装置提供更高精度的3D检查
- 2000万像素的4方向倾斜相机
- 高水准分辨率5μ/同轴照明
- 支持半导体领域的检查
- 有效利用AI的新软件解决方案
规格
相机像素 | 1200万 | ||
设备型号 | YRi-V | ||
水平解析度 | 5μ | 7μ | 12μ |
检测速度 | 10.1cm²/s | 19.6cm²/s | 56.8cm²/s |
基板尺寸 | L610 × W610（上限）- L50 × W50（下限）（单轨机型时） ※支持L750mm长基板（选配） | ||
照明光源 | 可见光（红/绿/蓝），红外线 | ||
工作气源 | 0.5 MPa 以上，干燥，清洁 | ||
外型尺寸 | L1,252 × W1,497 × H1,614mm | ||
设备重量 | 约1,480kg | ||