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ATHENA

在线式3D全自动光学检测系统

主要功能

  • 8+4投射+3层2D光源
  • 2D 和3D 同步侦测演算法
  • 远心镜头提供高精确度检测
  • 高配置CPU足以保证影像快速处理
  • 简单明了的使用者介面
  • 内建标准元件库管理系统
  • 离线即时调试系统(选项)

规格

 

设备类型

ATHENA

ATHENA L

ATHENAL D

ATHENADL

检测箅法

2D:视觉检测算法 3D: PMP 相移技术(摩尔条纹)

相机像素

1000萬.

1200萬

×/Y分辨率

10μm. 15μm. 18μm

10/15/18μm

最大基板尺寸

330*330mm

510×510mm

DL:330*280mm

SL:330*500mm

DL:510*330mm

SL:510*600mm

最小基板尺寸

50 *50 mm

基板厚度

0.4 - 7 mm

基板上/下净高

上方:50mm ,下方:50 mm

元件高度

0-27mm/15μm(選項. Z Axis)

基板弯曲度

±3mm

马达类型

X/Y 线性 马达

设备电源

单相交流220-240Vac, 50/60Hz

备注

ATHENA支 持超长基板处理能力 (最大可处理1.5 m 长基板)

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