ATHENA
ATHENA
在线式3D全自动光学检测系统
主要功能
- 8+4投射+3层2D光源
- 2D 和3D 同步侦测演算法
- 远心镜头提供高精确度检测
- 高配置CPU足以保证影像快速处理
- 简单明了的使用者介面
- 内建标准元件库管理系统
- 离线即时调试系统（选项）
规格
设备类型 | ATHENA | ATHENA L | ATHENAL D | ATHENADL |
检测箅法 | 2D:视觉检测算法 3D: PMP 相移技术(摩尔条纹) | |||
相机像素 | 1000萬. | 1200萬 | ||
×/Y分辨率 | 10μm. 15μm. 18μm | 10/15/18μm | ||
最大基板尺寸 | 330*330mm | 510×510mm | DL:330*280mm SL:330*500mm | DL:510*330mm SL:510*600mm |
最小基板尺寸 | 50 *50 mm | |||
基板厚度 | 0.4 - 7 mm | |||
基板上/下净高 | 上方:50mm ,下方:50 mm | |||
元件高度 | 0-27mm/15μm(選項. Z Axis) | |||
基板弯曲度 | ±3mm | |||
马达类型 | X/Y 线性 马达 | |||
设备电源 | 单相交流220-240Vac, 50/60Hz | |||
备注 | ATHENA支 持超长基板处理能力 (最大可处理1.5 m 长基板) | |||