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表面贴装技术部

PEMTRON PS 系列扫描电镜(SEM)

  • 设备名称: 扫描电镜(SEM)
  • 设备型号: PS系列
  • 设备品牌: 韩国奔创
  • 厂商网址: http://www.pemtron.com

Pemtron PS系列扫描电镜(SEM)具有自动真空工艺,在更换样品时,最佳真空设计仅需3分钟即可达到真空,同时搭载 自动控制功能、用户配置功能、导航功能,方便使用。

技术优点

  • 高性能和合理价格
  • 友好的GUI界面
  • 卓越的图像管理功能
  • 导航功能,操作便捷
  • 用户配置功能,节省操作时间
  • 自动功能,包括自动对焦、自动对比度和光亮度
  • 测量功能,可测量长度、角度和面积

技术规格

设备型号 PS-210 PS-230 PS-250
电子源 钨丝电子源
真空泵 旋转式油泵
分辨率 5.0 nm 3.0 nm
放大倍数 高达 100,000X 高达 300,000X
最大样品尺寸 70 mm 100 mm 140 mm
设备外型尺寸 480 x 624 x 722 mm 600 x 80 x 1390 mm 680 x 890 x 1460 mm

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